电子束真空作用室系统
所属分类
真空靶室设备
产品描述
参数
电子束真空作用室系统
一、设备主要技术指标和要求：
1、电子束真空作用室极限真空度：空载真空需小于1×10-6Pa；工作真空度：5×10-6Pa；系统漏率为：≤1×10-11Pa m3/s；
2、电子束真空作用室内尺寸为1000mm（长）×700mm（宽）×520mm（高），全无磁不锈钢（316L）双升降上盖开门结构；全部采用氩弧焊接，内焊缝，外部连续加强焊接，外表面焊接加强筋，外表面抛光处理；氦质谱检漏仪检漏，除上盖采用进口氟橡胶圈密封外，其余为无氧铜圈及铟丝金属密封；
3、作用室内部采用光学面包板，利用焊接波纹管使其支撑与作用室支撑隔离减震；
4、真空抽气采用总抽速约为1450L/s的两台分子泵和前级泵抽速约为10L/s的干泵。
5、系统带有真空连锁，断水保护功能。
二、设备组成及实施方案：
该系统主要由真空抽气及测量系统、真空作用室、观察窗组件、双升降机构、主台架系统、面包板及波纹管支撑系统、面包板减震支撑台架系统、电控系统、辅助系统等部分组成。
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