精密物理实验用靶环境模拟实验系统
一、功能要求和主要技术指标：
1、整体结构：采用单室球形真空室前开门结构，球形真空室固定在隔振平台上，防止振动对系统的影响。分子泵通过隔振波纹管机构与真空室连接，并且分子泵单独固定。全部采用氩弧焊接，外表面电解抛光处理。
2、抽气系统：
2.1、球形室极限真空度：≤1×10-3Pa；
2.2、系统漏率：1×10-8PaL/s；
2.3、抽气机组：采用国产抽速为620L/s的分子泵1台，进口抽速为8L/s干泵1台及国产手动闸板阀组成真空抽气系统。
3、样品架系统：
3.1、振动发生平台：
振动发生平台有两种振动方式，一种是水平方向的振动，另一种是垂直振动；
可以单独振动，也可组合振动。
3.1.1、水平方向振动：振幅的范围0～1mm之间可调；
3.1.2、垂直方向振动：振幅的范围0～1mm之间可调；
3.1.3、振动频率：0～100HZ；
3.1.4、加速度：10G；
3.2、样品X，Y, Z轴移动范围分别为±5mm，全部电动控制；
3.3、样品转动： 1～10转/分钟，0°～360°旋转，电动控制。
4、样品加热：样品升温范围为室温～700℃，温度测量精度优于5℃，升温速率可控、可调；采用热电偶进行控温加热，采用红外测温仪在真空室外进行测温。
5、激振器：选用小型电动式振动台采用稀土钕铁硼永磁材料；具有体积小、重量轻、频率范围宽、结构合理、可靠性高的特点。
6、 CCD采集系统：
针对样品在加热、振动前后各组件发生形貌或位置变化情况进行检测，提供测量样品振动前后样品球与样品观察窗边缘的相对位移量，完成表面状态精密检测和标定，为组件加热和振动过程提供量化参考。
测量精度：5μm。
7、隔振装置：整个系统安装在隔振平台上（除分子泵外），分子泵通过焊接波纹管和隔振棒与真空室连接，样品台有独立的减震阻尼平台。
8、设备具有断水断电连锁保护功能，有防止误操作保护功能。
9、计算机控制系统：
(1) 真空的采集显示(2) 温度的显示以及温控表的控制(3) 样品以及加热炉的运动控制(4) 振动系统控制(5) 样品图像采集显示以及样品组件相对位移测量。
二、主要技术性能指标及实施方案：
本系统为单室结构的振动成像检测系统，主要由真空抽气及测量系统、样品架系统、样品加热系统、激振器敲击系统、CCD系统、电控系统、辅助系统等组成。
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