模拟靶室及精密调节等部件A
一．技术指标
1.模拟靶室单元主要技术指标如下：
（1）材质：304不锈钢；
（2）内径：φ1300±5mm，靶室中心离地面高度为1400mm，空载真空度优于1.0×10-4Pa，整体漏率小于1.0×10-7Pa·L/s；
（3）法兰接口：DN500×4；DN400×8；DN320×4；DN250×1；DN160×2；CF40×3。
（4）靶室法兰止口中轴线与基准（球心）偏差小于±3mm；
（5）在加工法兰焊接孔时，要求保证孔位置的经纬度误差不大于±1°；
（6）靶室法兰载重能力不小于200Kg（重心离法兰端面距离为800mm）；
（7）模拟靶室支撑需采用隔振器，隔振效果：模拟靶室振幅小于2μm（真空机组及制冷机处于工作状态）。
2.真空腔体及附属单元主要技术指标如下：
（1）真空腔体材质：304不锈钢；
（2）真空腔体主要由圆柱形腔体和方形腔体两部分组成。其中圆柱形腔体大小根据内部搭载部件大小（最大处尺寸为500mm）进行设计，方形腔体长×宽×高：700mm×815mm×742mm。空载真空度优于1.0×10-4Pa，整体漏率小于1.0×10-7Pa·L/s；
（3）方形腔体上法兰口共6个，法兰接口：DN400接口4个，DN630接口1个，DN670接口1个， DN400法兰载重能力不小于200Kg（重心离法兰端面距离为800mm）；
（4）方形腔体中心距离地面高度为1400mm，方形腔体4个DN400法兰中心线交点与模拟靶室中心距离1900mm（DN500焊接波纹管自由长状态）；
（5）真空腔体支撑需采用隔振器，隔振效果：真空腔体振幅小于2μm（真空机组及制冷机处于工作状态）。
3.长程传送及附属单元主要技术指标如下：
（1）长程传送单元对靶点（低温制冷单元最前端）的传输行程：不小于2200mm（传输起点为方形腔体4个DN400法兰中心线交点往后200mm处）；
（2）长程传送单元负载能力（不含配重）：不小于200Kg；
（3）长程传送单元对靶点的双向重复定位精度：优于±25μm(x, y, z)；
（4）靶点定位稳定性：小于±5μm/hr；
（5）电机、导轨及线缆须满足真空环境的使用要求。
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