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方形真空作用腔
TA23-15D 水印

方形真空作用腔

所属分类
真空靶室设备
TA23-15D 水印
产品描述
参数

真空抽气及测量系统

1、作用靶室系统空载极限真空度2小时到达5.0×10-4Pa（甲方负责）。

2、作用靶室系统总漏率优于1.0×10-7Pa·L/s。

3、真空抽气：采用磁悬浮分子泵+干泵（进口普发，甲方自备）抽气机组（无油系统），配有手动闸板阀、旁抽阀门、波纹管管道、真空计、放气阀等组成真空抽气及测量系统。

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