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作用室
TA23-02D 水印1
TA23-02D 水印2
TA23-02D 水印3

作用室

所属分类
真空靶室设备
TA23-02D 水印1
TA23-02D 水印2
TA23-02D 水印3
产品描述
参数

真空相关要求及指标
1)作用室内部空载极限真空度<1x10-5Pa。激光系统正常运行时真空腔内部真空度<5x10-5Pa。

2)作用室总漏率小于 1x10-11Pa.m3/s。

3)作用室可以充入干燥氮气等缓冲气体，以避免光学器件腐蚀，并增加其使用寿命。

4)作用室接口规格及数量:两个真空规接口(CF35)，一个气动放气阀接口(CF16)，一个手动放气阀门接口(CF16)，两个闸板阀接口(CF200和CF250)，一个旁抽角阀接口(CF35)。

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真空腔室系统

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