200J装置靶室项目球形靶室
所属分类
真空靶室设备
产品描述
参数
主要技术指标:
1. 靶球采用球形结构,材料选用304不锈钢,内壁直径φ1200mm,壁厚14mm;
2. 靶球法兰载重能力>200KG;
3. 靶球内壁光洁度不大于1.6,要求满足真空度1×10-3Pa的要求,整体漏率不大于1×10-10Pa•m3/s;
4. 靶球中心离地面高度1.4m,误差不大于±2mm;
5. 法兰端面距靶点中心距离680mm,误差不大于±3mm,法兰中心与靶点重合,误差不大于±3mm;
6. 设置中间检验环节,为保证法兰位置精度,要求球壳开孔时,孔中心轴线相对球心误差不大于±0.5mm,经纬度误差不大于0.1°,加工方提供检测数据。
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