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镀膜零件暂存系统
成品002

镀膜零件暂存系统

所属分类
热处理
成品002
产品描述
参数

主要技术指标：

真空存储腔室

1.1、真空存储腔室工作真空优于5×10-3 Pa，恢复真空时间小于等于40 min，关闭阀门后12小时保压能力不大于5Pa。

1.2、真空测量采用数显复合真空计3台，分别安装在3层腔室上，配有CF35电离规和CF16电阻规，带有计算机接口，可采集。

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