产品描述
参数
主要技术指标：
真空除气腔室系统
1.1、极限真空：优于5×10-5Pa.
1.2、工作真空：5×10-4 Pa。
1.3、从冷态恢复至工作真空时间小于等于35 min，真空室漏放率小于等于5×10-7 Pa l/s。
1.4、加热器采用镍铬合金，带状结构，采用95陶瓷绝缘件固定，有效加热区域尺寸不小于500 mm×300 mm×300 mm，炉温均匀性优于±2 ℃。加热带和绝缘件应方便更换。
1.5、加热采用大电流、低电压供电方式，由1台三相晶闸管调压器做供电电源，通过铜排和水冷电极引入炉内加热器。采用温控仪实现温度的连续调节，温控仪控温精度±1℃。升温速率：10～25℃/min，最高加热温度～600℃。
1.6、真空腔体烘烤加热温度：室温～300 ℃。
1.7、热电偶采用冷端密封结构，在保护管断裂情况下，依然能够保证设备的密封性能，不会影响设备正常工作或造成安全问题。配置3点炉温均匀性检测装置，用于炉内均温性的测量。温控报警系统具有超温、超时、断偶时的声音和指示灯报警功能。
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