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真空烘烤腔体
22-16DPS

真空烘烤腔体

所属分类
热处理
22-16DPS
产品描述
参数

腔体直径：350mm

腔体极限真空：≤2×10^-9mbar,

系统漏率：≤1×10^-10Pam^3/s

腔体材质：S316

"蒸发源水冷套法兰口：DNCF63  

蒸发源水冷套法兰口：DNCF35

离子规安装口：DN40CF  

分子泵安装口：DN150CF

观察视窗：DN100CF

离子泵安装口：DN250CF

配有真空计:1×10^5Pa至5×10^-8Pa

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真空烘烤腔体
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