产品描述
参数
装置主要由真空获得及测量系统、真空腔室系统、平移导轨平台、CZK可移动平台、电气控制系统等组成。
1、真空获得及测量系统
1.1、真空腔室极限真空优于1.0×10-4Pa，漏率小于1.0×10-10 Pa·m3/s；
1.2、真空泵组包括分子泵、机械泵、插板阀、挡板阀、压差阀、充气阀等；
1.3、真空泵组集成安装在支架内部；
1.4、分子泵采用风冷，前级泵采用涡旋干泵；
1.5、设置适当的真空抽气管路及阀门，所有阀门采用电动控制；真空规管设置在抽气管路上；
1.6、带有粗抽功能，涡旋干泵可不通过分子泵直接对真空室进行粗抽；
1.7、真空泵组设置供电与供气的快速插拔接口。
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