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方形真空腔体
TA21-01D

方形真空腔体

所属分类
真空靶室设备
主要技术指标 1)  真空腔体总长度：4555±70mm； 2)  工作真空度：≤5×10-4Pa 3)   真空腔体总体漏率：≤1.0×10-7Pa.L/s； 4)   材料：5083 铝合金； 5)  焊接符合真空度工艺要求； 6)  各接口符合尺寸及位置要求。
TA21-01D
产品描述
参数

主要技术指标

1)  真空腔体总长度：4555±70mm；

2)  工作真空度：≤5×10-4Pa

3)   真空腔体总体漏率：≤1.0×10-7Pa.L/s；

4)   材料：5083 铝合金；

5)  焊接符合真空度工艺要求；

6)  各接口符合尺寸及位置要求。

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