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激光靶室系统

所属分类
真空靶室设备
一、技术指标     1、激光靶室系统漏率优于1×10-8Pa•L/s；     2、压缩池系统及作用室系统与光学平台之间安装水冷板，水冷板厚度40mm；     3、压缩池系统与作用室系统通过ISO50法兰连接，两个腔体内面包板之间最小距离160mm。 二、设备组成     激光靶室系统主要由真空抽气及测量系统、压缩池系统、作用室系统及辅助系统等组成。
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产品描述
参数

一、技术指标

    1、激光靶室系统漏率优于1×10-8Pa•L/s；

    2、压缩池系统及作用室系统与光学平台之间安装水冷板，水冷板厚度40mm；

    3、压缩池系统与作用室系统通过ISO50法兰连接，两个腔体内面包板之间最小距离160mm。

二、设备组成

    激光靶室系统主要由真空抽气及测量系统、压缩池系统、作用室系统及辅助系统等组成。

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