技术要求及指标 1、分子泵抽真空系统： 1.1、极限真空度：极限真空度优于8Pa。 1.2、漏率：优于2.0×10-7 Pa.l/s。 1.3、分子泵抽真空系统（国产分子泵+国产干泵）一套，为系统抽真空。系统备有预抽装置和充气装置。预抽装置可与前级泵连接，带有预抽阀门。 1.4、真空测量：采用数显复合真空计实时测量，带数字显示。 2、真空室系统： 2.1、立式圆筒型结构：内尺寸：直径Φ1000 mm，高620 mm；     2.2、统整体漏率：优于2.0×10-7 Pa·L/s； 2.3、真空室罐体侧面带有开门结构，用于更换样品； 2.4、可视窗口：4个，前后左右方向,间隔角度为90度，窗口材料为石英玻璃，总体参数： 3、光学隔振平台系统 4、电控位移台及控制器(数量：1套) 一组用于承载实验样品的四维电控位移台在真空靶室内正常运行。 5、真空室及面包板分别配置金属支架。 6、配置电控系统，具备断电报警及联锁保护功能。