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负离子源真空腔室与功能集成系统
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负离子源真空腔室与功能集成系统

开尔文探针室系统技术指标:1、开尔文探针室本底真空:可达到6×10-6Pa;系统漏率:优于1×10-7Pa.L/S。2、四维样品台。磁控溅射镀膜系统技术指标:1.极限真空:6.0×10-6Pa;系统漏率:1×10-7Pa.L/S。2.抽速:短时间暴露干燥氮气后,可在40分钟内将真空室真空抽至6×10-4Pa。3.磁控靶:Lesker2英寸磁控靶3个。4.样品台:Φ40mm的平面样品一个;5.气路:
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产品描述
参数
开尔文探针室系统技术指标:
1、开尔文探针室本底真空:可达到6×10-6Pa;系统漏率:优于1×10-7Pa.L/S。
2、四维样品台。
磁控溅射镀膜系统技术指标:
1.极限真空:6.0×10-6Pa;系统漏率:1×10-7Pa.L/S。
2.抽速:短时间暴露干燥氮气后,可在40分钟内将真空室真空抽至6×10-4Pa。
3.磁控靶:Lesker 2英寸磁控靶3个。
4.样品台:Φ40mm的平面样品一个;
5.气路:两路进气(Ar、O2),用质量流量控制器控制进气流量。
等离子体发生及作用系统技术指标:
1.极限真空:达到10-5Pa;系统漏率:1×10-7Pa.L/S。
2.在腔室进气量为300sccm时,真空室气压维持在0.5Pa。
3.负离子转化实验样品台:Φ40mm的平面样品一个。
4.等离子体与材料相互作用样品台:Φ40mm的平面样品一个。
5.配置等离子体发生及磁约束系统和束流探测系统各一套。
6.气路:四路工艺气体(氩气,氢气,氮气,氦气),用质量流量控制器控制进气流量。
样品转接系统技术指标:
1.极限真空:达到10-6Pa;系统漏率:1×10-7Pa.L/S。
2.转动伸缩样品台:可精确控制样品传递杆沿交接方向伸缩移动。
3.样品台同其他三套系统的样品交接传递实验测试,交接状况良好,取样、换样方便。
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