产品描述
参数
一、技术指标:
1、真空和压力:
真空条件下:内部气压不低于le-4Pa,机械泵及分子泵正常启动,分子泵满转后30分钟内真空度不低于le-3pa;
氢气背景条件下,气压范围0.2至5个大气压。
腔体需保证在真空和高压氢气两种条件下的密封性能。
系统总漏率:≤6.67×10-7PaL/S.
2、腔体接线阴阳之间绝缘50kV,腔体内电流脉冲30kA。腔体外壳与内部也应具有相同的绝缘性能。
二、系统组成
主要有真空抽气机测量系统、腔体系统、支撑法兰系统、腔体盖系统、支撑法兰内部系统、阴极系统、阳极系统、上盖系统、辅助系统、电控系统等组成。
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