离子注入实验系统
所属分类
等离子体研究设备
产品描述
参数
一、技术指标：
系统整体漏率≤1×10-7Pa•L/s。
系统工作真空度要求分别为：
真空配气系统工作真空度（室温）要求≤ 1×10-6Pa，除气时间≤24h;
样品传送回收系统工作真空度要求≤5×10-4Pa，除气时间≤3h;
真空靶室系统工作真空度（室温）要求≤1×10-6Pa，除气时间≤24h;
分子泵机组系统工作真空度要求≤ 5×10-4Pa，除气时间≤3h。
二、系统组成：
离子注入实验系统主要由真空配气系统、样品传送回收系统、真空靶室系统、分子泵机组系统、外部支撑台架系统、电控系统及辅助系统等组成。
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强碰撞高密度等离子体实验装置
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负离子源真空腔室与功能集成系统
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