负离子源真空腔室与功能集成系统
所属分类
等离子体研究设备
产品描述
参数
开尔文探针室系统技术指标：
1、开尔文探针室本底真空：可达到6×10-6Pa；系统漏率：优于1×10-7Pa.L/S。
2、四维样品台。
磁控溅射镀膜系统技术指标：
1.极限真空：6.0×10-6Pa；系统漏率：1×10-7Pa.L/S。
2.抽速：短时间暴露干燥氮气后，可在40分钟内将真空室真空抽至6×10-4Pa。
3.磁控靶：Lesker 2英寸磁控靶3个。
4.样品台：Φ40mm的平面样品一个；
5.气路：两路进气（Ar、O2），用质量流量控制器控制进气流量。
等离子体发生及作用系统技术指标：
1.极限真空：达到10-5Pa；系统漏率：1×10-7Pa.L/S。
2.在腔室进气量为300sccm时，真空室气压维持在0.5Pa。
3.负离子转化实验样品台：Φ40mm的平面样品一个。
4.等离子体与材料相互作用样品台：Φ40mm的平面样品一个。
5.配置等离子体发生及磁约束系统和束流探测系统各一套。
6.气路：四路工艺气体（氩气，氢气，氮气，氦气），用质量流量控制器控制进气流量。
样品转接系统技术指标：
1.极限真空：达到10-6Pa；系统漏率：1×10-7Pa.L/S。
2.转动伸缩样品台：可精确控制样品传递杆沿交接方向伸缩移动。
3.样品台同其他三套系统的样品交接传递实验测试，交接状况良好，取样、换样方便。
扫二维码用手机看
上一个
离子注入实验系统
下一个
Z箍缩等离子体负载实验装置
总 机：024-23758583
传 真：024-89422961
总经理电话：13804984297/024-23758583-607
市 场 部（售后服务）：024-23758583-610 13840375510
地址：沈阳市苏家屯区大淑堡瑰香街83-5号
024-23758583
在线留言 