产品描述
参数
1、极限真空度:优于5×10-4Pa;工作真空度:优于5×10-3Pa,微波等离子体工作真空度为:几百帕;
系统漏率:1×10-7PaL/S;
2、系统所配离子源、微波源、电弧源等;
3、真空室共分为四段;
4、中间段真空室共有两套:一套为不锈钢材料(304),一套为尼龙制成;
5、最外端两端真空室可与整体拆卸独立使用,可单独使用,可两段一起使用;
6、系统配有相应的盲板密封;
7、系统内部带有手动三维移动实验套。
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热管碱金属充装及性能测试设备
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传 真:024-89422961
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