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强碰撞高密度等离子体实验装置
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强碰撞高密度等离子体实验装置

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产品描述
参数

1、极限真空度:优于5×10-4Pa;工作真空度:优于5×10-3Pa,微波等离子体工作真空度为:几百帕;

系统漏率:1×10-7PaL/S;

2、系统所配离子源、微波源、电弧源等;

3、真空室共分为四段;

4、中间段真空室共有两套:一套为不锈钢材料(304),一套为尼龙制成;

5、最外端两端真空室可与整体拆卸独立使用,可单独使用,可两段一起使用;

6、系统配有相应的盲板密封;

7、系统内部带有手动三维移动实验套。

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