产品描述
参数
主要技术指标：
1)等离子体源；
2)磁场线圈系统；
3)真空系统：主腔室长度约为2.62米，分为等离子体源室、辅助加热室和靶室三部分。同时包含一个材料分析与交换室与靶室连接。采用科学、合理的真空抽气泵组，提供所需真空环境；
4)电源系统；
5)冷却系统；
6)其它：诊断系统、辅助加热系统等。
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线性等离子体装置真空系统
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球形旋转等离子体源系统
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