CVD超高真空系统
所属分类
化学气相沉积设备 （CVD）
产品描述
参数
一、技术指标要求：
1．极限真空度：≤1×10-5Pa（冷态空载），真空漏率：5×10-6PaL/S；
2．最高温度：1700℃；
3. 石英管式炉：尺寸：Φ100(外径)×800 mm,壁厚4mm；石英管式炉内，有圆柱形碳纤维保温套，炉套内有两个半圆形石墨坩埚，石墨坩埚尺寸为：R21mm×100mm；
4．升温时间：1700℃/15分钟,升温速率100℃/min；
5. 压力控制系统：MKS阀门以及压力计一套（高温）；
6. 石墨样品托一套，保温层一套。
二、设备组成及实施方案：
该系统主要由真空抽气及测量系统、石英加热炉系统、压力控制系统、气体流量控制系统、感应加热及测温系统（用户自备）、电控系统及辅助系统组成。
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