主要技术指标：1、真空抽气系统：系统极限真空度能达到1Pa以下；当仅机械泵工作时，极限真空度小于5Pa；采用两套真空机组作为真空抽气系统，可单独控制压力，两个管道相互隔离。抽气能力达到600L/S以上；2、加热控制系统：基带加热温度小于850℃；加热区分为升温、保温及降温区；温度控制精度为±1℃；保温区沿走带方向不大于±3℃温度偏差；测温模块方便测量腔室空间内实际温度；在使用保温工艺时总功率不大于40KW；3、基带收、放系统：卷绕系统分为两种模式：两套模式各自单独控制，运动过程中相互不干涉。卷对卷系统张力稳定可控，可实现小于1Kg张力的稳定控制；卷对卷保证稳定不跑偏，实现1000米顺利走带。4、气氛系统：系统工作压力为20Pa～1KPa；系统工作压力采用手动调节电动碟阀开合位置来控制；工作气氛：分为干式、湿式两种；5、设备采用计算机作为人机界面对加热系统、走带系统、真空系统等进行手动远程控制；6、设备带有断水断电以及误操作联锁保护装置；7、设备带有安全防护系统。