产品描述
参数
1、系统极限真空度：≤8.0×10-1Pa。
2、系统漏率：＜1.0×10-7Pa.L/s。
3、工作气压调节范围：5～150Pa；采用手动/自动两种控制方式。
4、热丝反应装置。
5、样品台
6、真空室。
7、气路：系统共有2路有机源。
8、电控系统：
8.1、系统需具备联锁保护功能，包括断水断电联锁保护、超温报警等等。
8.2、压力的控制具有手动/自动两种控制模式。
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助压层制备装置
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