真空系统组件
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产品描述
参数
主要技术要求：
1.真空抽气系统：
极限真空度不低于9.0×10-7Pa,真空腔体工作真空度为为10-3～10-5Pa，系统漏率不低于1.0×10-8Pa·L/S。
2.分析室焊接组件：
尺寸：内径尺寸约为Φ63×150mm。材料：不锈钢材料（316L）。结构：圆筒式结构。
3.预抽室焊接组件：
尺寸：内径尺寸约为Φ63×159mm。材料：不锈钢材料（316L）。结构：圆筒式结构。
4.CF25-CF63过渡管道焊接组件：
尺寸：内径尺寸约为Φ25×44.5mm。材料：不锈钢材料（316L）。结构：圆筒式结构。
5.CF25三通管道焊接组件：
尺寸：内径尺寸约为Φ25×90mm。材料：不锈钢材料（316L）。结构：圆筒式结构。
6.CF25两芯电极法兰：
在法兰上焊接两个M3陶封电极，用于安装热电偶测温，M3陶封电极上安装保护罩，防止磕碰损坏。
7.铝型材移动台架安装组件：
外型尺寸：680（长）×380（宽）×640（高）。
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PQ –Ⅰ 玻璃泡充铷真空系统
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真空室加工
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