真空室加工
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产品描述
参数
主要技术指标：
1.真空室外观设计符合要求；
2.真空室材料为304不锈钢。
3.真空室内需设计放置旋转真空电机的样品托架
4.真空室的系统漏率≤5×10-7Pa·L/s；
5. 该真空室的镀膜工作由电脑程序控制。能够控制并记录三个流量控制器、射频电源、自动闸板阀的工作情况；
6.螺旋圈为直径Φ(8±2)mm的退火空心铜管，线圈匝数为7±2匝。
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真空系统组件
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