石英管充气系统
所属分类
等离子体研究设备
产品描述
参数
1、极限真空度:优于5.0×10-4Pa;工作真空度:10sccm(氙气)条件下<2.0×10-2Pa;系统漏率:1.0×10-7Pa.L/S;
2、石英管管道:采用石英材料;
3、航插固定法兰组件:DN100的法兰上,安装有两套航空插头;
4、射频插座固定法兰组件:DN100的法兰上,安装两个射频插座;
5、气路组件:
5.1、两路供气,气体流量通过质量流量计控制,氮气标定;
5.2、绝缘进气法兰固定在DN80法兰上,共两路。
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