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石英管充气系统

1、极限真空度:优于5.0×10-4Pa;工作真空度:10sccm(氙气)条件下<2.0×10-2Pa;系统漏率:1.0×10-7Pa.L/S;2、石英管管道:采用石英材料;3、航插固定法兰组件:DN100的法兰上,安装有两套航空插头;4、射频插座固定法兰组件:DN100的法兰上,安装两个射频插座;5、气路组件:5.1、两路供气,气体流量通过质量流量计控制,氮气标定;5.2、绝缘进气法兰固定在DN
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产品描述
参数

1、极限真空度:优于5.0×10-4Pa;工作真空度:10sccm(氙气)条件下<2.0×10-2Pa;系统漏率:1.0×10-7Pa.L/S;

2、石英管管道:采用石英材料

3、航插固定法兰组件:DN100的法兰上,安装有两套航空插头

4、射频插座固定法兰组件:DN100的法兰上,安装两个射频插座;

5、气路组件:

5.1、两路供气,气体流量通过质量流量计控制,氮气标定;

5.2、绝缘进气法兰固定在DN80法兰上,共两路。

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