阴极组件设备
所属分类
等离子体研究设备
产品描述
参数
主要技术指标：
1、实验舱组件：
试验舱为尺寸为Ф320mm（内径）×400mm（长）；全不锈钢（304）卧式结构，一端为前开门封头铰链结构，一端为封头焊接结构（安装泵抽系统）；全部采用氩弧焊接，内焊缝，外部连续加强焊接，外表面喷砂钝化处理，整体电解抛光处理，氦质谱检漏仪检漏，高真空密封。
2、容器顶部布置2个CF35、KF16真空规接口。
3、容器上部布置1个KF6型充气口。
4、电极引线：
引线五根20A，其中一根要耐高压500V；独立；
测温热电偶Φ3两根，一正一负；
压力计电极引线5根5A；八针10A的航插质量流量计引线，独立。
5、两个气路穿舱接口，在门上焊接两个1/4″VCR气路管和接头，其余部分由甲方完成；该两路气路管焊接在真空室侧壁靠近前门处。
6、试验舱筒体两侧和舱门上各设一个透明测试窗口，通径DN100，压环法兰结构，K9玻璃。
7、阴极组件安装板是安装阴极组件的基础，制做一个2mm厚的不锈钢托板，安装在真空室内壁靠近前门处，阴极位置在真空室中心线或上面。
8、质量流量计安装板是安装流量计组件的基础，制做一个2mm厚的不锈钢托板，安装在真空室内壁靠近前门处，流量计位置位置在真空室中心线下面。
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石英管充气系统
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多相交流电弧放电实验真空室腔体
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