产品描述
参数
真空抽气及测量系统
1、系统极限真空度优于8.0×10-8Pa，系统漏率优于1.0×10-7Pa·L/s。
2、采用离子泵+分子泵+前级干泵组成的真空抽气机组（泵组选用国产品牌），配有连接管道、阀门及真空计等共同组成真空抽气及测量系统。
3、主抽气管道通导为DN100，管道上焊接各功能法兰接口，安装离子泵、分子泵、真空规管、放气阀等。
4、抽气管道外部缠绕烘烤带，烘烤带外部缠绕铝箔保温，提高系统极限真空度。
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硅凝胶除气及灌封系统
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