产品描述
参数
技术要求及指标：
1、真空度及漏率：
1.1、极限真空度：≤1Pa。
1.2、漏率：优于5.0×10-7Pa·L/s（采用氦质谱检漏仪检漏）。
2、配置机械泵一套，配有真空抽气管道、电磁截止阀、电磁压差阀和电磁充气阀以及真空计等组成真空抽气系统。
3、真空室采用钟罩式结构。
4、气泡破裂有固定真空度数值并具有连锁控制功能。
5、进气流量和压力可调可控。
6、真空室采用二维移动并带有锁紧功能，方便更换样品等。
7、样品托架。
8、配置电控系统一套。
9、采用集成式一体机结构，结构紧凑，占地空间小。
10、系统控制采用一键式启动和操作，自动控制，完成整个工艺过程。
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