产品描述
参数
1、真空获得及测量系统
1.1、系统极限真空度优于1.0×10-4Pa，系统漏率优于1×10-7Pa·L/s；
1.2、从大气抽到4.0×10-3Pa时，抽气时间低于30min（分子泵满转条件下）；
1.3、抽气机组：采用分子泵+机械泵+罗茨泵、旁抽阀门、管道、真空计等组成抽气系统。
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