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离子束溅射镀膜系统
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复合离子镀膜机
PS（正）
PS1

复合离子镀膜机

所属分类
离子束溅射镀膜系统
PS（正）
PS1
产品描述
参数

1、真空获得及测量系统

1.1、系统极限真空度优于1.0×10-4Pa，系统漏率优于1×10-7Pa·L/s；

1.2、从大气抽到4.0×10-3Pa时，抽气时间低于30min（分子泵满转条件下）；

1.3、抽气机组：采用分子泵+机械泵+罗茨泵、旁抽阀门、管道、真空计等组成抽气系统。

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LJS-1120 离子束溅射镀膜系统

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复合离子镀膜机
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LJS-1120 离子束溅射镀膜系统
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LZS -400 多功能离子束与磁控溅射镀膜机系统
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