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成品002

镀膜零件暂存系统

所属分类
热处理
成品002
产品描述
参数

主要技术指标:

真空存储腔室

1.1真空存储腔室工作真空优于5×10-3 Pa,恢复真空时间小于等于40 min,关闭阀门后12小时保压能力不大于5Pa

1.2真空测量采用数显复合真空计3台,分别安装在3层腔室上,配有CF35电离规和CF16电阻规,带有计算机接口,可采集。

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真空烘烤腔体
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镀膜零件暂存系统
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