产品描述
参数
一、技术指标
1、真空室极限真空优于2×10-7Pa（冷态），漏率优于1×10-8Pa•L/s。
2、真空机组选用三级泵抽机组；
3、真空室材料为不锈钢316L；主腔室为立式圆筒形结构，内尺寸约为Φ450mm×164mm。
4、系统配置一套矩形电动双升降结构的烘箱子系统，对烘箱内部真空室进行烘烤，最高烘烤温度为450℃（常用温度420℃）；
5、系统配置管壳架组件十二套，用于安装固定管壳。
6、系统配置电子清刷组件（电子清刷组件需方自备）十二套，用于对管壳进行电子清刷。
7、系统配置管壳电极法兰（双芯）十二套，用于对管壳施加电压。
二、设备组成
电子倍增器冲刷设备系统主要由真空抽气及测量系统、真空室及其附属组件系统、双升降烘箱系统、台架系统、电控系统、辅助系统等组成。
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超高真空退火台
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