产品描述
参数
一、技术参数
1、真空室极限真空优于2×10-7Pa（冷态，真空室内安装有阴极窗、碱金属及管壳），漏率优于1×10-8Pa•L/s。
2、真空室材料为不锈钢316L；主腔室为立式圆筒形结构，内尺寸约为Φ126mm×172.5mm；副腔室为卧式圆筒形结构，副腔室均布焊接于主腔室圆周方向，内尺寸约为Φ74mm×90mm。
3、真空室上配置有两个测温点，一个在真空室内部，测量真空室上观察窗内部位置的温度，一个在真空室外部下底阴极制作组件法兰上，测量真空室阴极制作组件法兰位置的温度。
二、设备组成
该设备由真空抽气及测量系统、真空室及附属组件系统、双升降烘箱及台架系统、电控系统、辅助系统等组成。
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