磁控溅射镀膜机设备
所属分类
磁控溅射镀膜系统
产品描述
参数
一、主要技术要求：
1、真空度指标：
1.1、保证真空室极限真空度≤6.0×10-5 Pa。
1.2、系统漏率：≤5.0×10-8 PaL/S。
1.3、真空抽气机组：采用分子泵作为主抽泵，机械泵作为前级泵，配有真空计、阀门以及管道，组成真空抽气系统。
2、压力控制：实现镀膜过程中气压在0.1～3.0 Pa范围内的有效调节。
3、磁控靶及电源系统：
扫二维码用手机看
上一个
掺杂Be靶丸涂层装置
下一个
磁控溅射涂层装置
总 机：024-23758583
传 真：024-89422961
总经理电话：13804984297/024-23758583-607
市 场 部（售后服务）：024-23758583-610 13840375510
地址：沈阳市苏家屯区大淑堡瑰香街83-5号
024-23758583
在线留言 