1、预处理室系统
1.1、预处理室极限真空≤4.0×10-6 Pa，漏率低于1×10-8 Pa·L/s，保气72 h真空度3.1×10-2 Pa。
1.2、真空机组采用德国莱宝分子泵+德国莱宝干泵+闸板阀。
1.3、真空测量采用成都睿宝复合真空计。
1.4、配置有铰链开门组件，并带观察窗，采用无氧铜金属密封方式，CF150接口。
1.5、预处理室配置有样品库，样品库为八工位，配置样品托八个，样品库可上下升降，顺反旋转，保障顺畅交接样品。
1.6、预处理室上有CF35备用接口2个。
1.7、配置有一套碘钨灯照明组件，以便观察样品交接。
1.8、预处理室采用外缠绕烘烤带加热除气方式。
2、溅射室系统
2.1、溅射室极限真空度≤4.8×10-8 Pa，漏率低于1×10-8 Pa·L/s，保气72 h真空度小于2.6×10-3 Pa。
2.2、真空机组采用德国莱宝分子泵+德国莱宝干泵+上海三井离子泵+瑞士VAT手动闸板阀（接口CF150）。
2.3、真空测量采用德国莱宝复合真空计监测。
2.4、镀膜时采用美国Inficon薄膜压力计监测。
2.5、与真空室相连的各组件均带防污措施。
2.6、涂层过程，靶材刻蚀、传样和换靶均能够清晰观测。
2.7、溅射室上配置有一个CF200的真空室维护法兰。
2.8、腔室内置碘钨灯照明，快插拔更换，带旋转保护罩，外置LED绿光应急照明。
2.9、溅射室上预留有CF35/CF63/CF100备用接口。
2.10、溅射室采用外缠绕烘烤带加热除气方式。
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