产品描述
参数
主要技术性能指标：
1、整体结构：
采用单室立式上盖电动结构，真空室上面安装五工位样品台，真空室下面向上安装MANTIS迷你电子束蒸发源，配有真空抽气及测量系统。
真空室安装在开放式铝型材制作的台架上，真空室外表面电解抛光处理。
2、镀膜方式：迷你型电子束蒸发源安装在真空室的下方，向上蒸发镀膜，每次只对准一个样品进行镀膜，其余四个样品不在镀膜区域内，防止交叉污染。
3、真空指标：
3.1、系统极限真空度优于3.0×10-5Pa，系统漏率：1.0×10-7Pa·L/s；
3.2、抽气机组采用分子泵（国产）+干泵（国产）组成的抽气机组。
4、样品台系统：
4.1、样品台：五工位样品台，样品台上安装样品托，共五套样品托；
4.2、样品可自转，转速0～30转/分钟，并且样品可公转换位；
4.3、样品台带有加热功能，每次只加热一个要镀膜的样品，加热炉加热温度为室温～700℃，控温精度±2℃，程序控温，升温、恒温时间可控，并要做样品温度标定曲线；
4.4、一个样品托可放置1片样品。
5、迷你电子束蒸发源：
5.1、电子束蒸发源采用Mantis公司生产的迷你型 QUAD-EV系列四坩埚电子束蒸发源，蒸发源自带挡板及升降调节机构（甲方自备）；
6、系统配有照明灯，并且采用缠绕加热带的方式进行烘烤除气。
7、设备具有断水断电连锁保护功能，有防止误操作保护功能。
扫二维码用手机看
上一个
芯轴微球干燥及去除装置
下一个
高真空加热装置
总 机：024-23758583
传 真：024-89422961
总经理电话：13804984297/024-23758583-607
市 场 部（售后服务）：024-23758583-610 13840375510
地址：沈阳市苏家屯区大淑堡瑰香街83-5号
024-23758583
在线留言 