1、真空度及漏率：1.1、系统极限真空度≤6.7×10-5Pa，系统漏率优于1.0×10-7Pa.L/s；1.2、真空抽气机组采用分子泵+干泵的抽气机组；1.3、真空获得系统分为快抽和慢抽两种抽气方式。2、真空罐体：真空罐体材料选择316L不锈钢，罐体内部尺寸不小于直径Φ50mm×100mm。3、加热炉：3.1、加热炉外壳温度要低于200℃；3.2、加热炉内最高加热温度800℃，控温精度±1℃；3.3、加热均温区：φ50×50mm（真空罐体底部）；3.4、程序控温，PID调节。4、气体降温循环系统：采用氩气循环的方式对真空罐体的外壳管道进行降温，以避免高温对罐体上盖密封口的氟橡胶圈造成损坏。5、电控系统：电控系统主要有以下功能：5.1、真空机组控制；5.2、真空度的显示和温度控制；5.3、系统的联锁保护功能。