阴极转移系统
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产品描述
参数
主要技术指标:
1、真空室系统真空漏率优于5×10-8Pa·L/s.
2、真空腔室系统由阴极激活室和管壳铟封室两部分组成,阴极激活室采用立式双层水冷圆柱结构;真空室内尺寸约φ250×高270mm,管壳铟封室采用立式双层水冷圆柱结构,真空室内尺寸约φ250×高270mm,两个真空室通过DN100管道氩弧焊连接在一起。
3、阴极激活室及管壳铟封室各配备一套加热系统,最高加热温度为400摄氏度。
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