微波等离子体系统
所属分类
化学气相沉积设备 （CVD）
产品描述
参数
一、主要用途：
用于制备纳米碳管。
二、技术指标：
1. 极限真空度：≤6×10-4 Pa（冷态空载），真空漏率：5×10-7 PaL/S；
2. 石英管尺寸：Φ100(内径)×500（mm）,壁厚3mm～5mm，温度区150mm；
3. 石英管式炉内：有圆柱形碳纤维保温套，炉套内有大圆环形石墨坩埚，其内放置小的石墨坩埚，石墨坩埚内放置样品；
4. 感应加热：射频：50±30KHz；加热2200℃/15分钟，最高加热2200℃；全固态高频感应电源，功率10～15KW；线圈紫铜管尺寸：Φ10×1，紫铜管螺旋而成，内径：Φ120×150（mm）,通冷却水；
5. 气路系统：3路质量流量计控制，范围：一路0～3升/分钟，一路0～5升/分钟，一路0～200SCCM。
三、系统组成：
系统主要由真空抽气及测量系统、测温系统、石英加热炉系统、感应加热系统、气路系统、电控及辅助系统等组成。出气系统、微波源外罩系统、气体流量控制系统、电控系统及辅助系统组成。
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