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阴极制备设备

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YJ-Ⅱ 阴极转移及铟封制作真空系统

所属分类

阴极制备设备

一、系统用途：　　制备各种光学管。二、技术指标：1．可制作光学管(Φ110×(30mm～50mm)；阴极(Φ70～Φ80mm)；2．真空系统极限真空度(空载)：(1-3)×10-8Pa；3．真空系统烘烤温度：400℃，程序控温，采用烘箱烘烤，电动双升降结构；4．烘箱外管道烘烤温度：180℃(烘烤带烘烤，直接插入220V电源插座)；5．两套样品交接：一套在钢封室，一维直线运动；一套在阴极室，传递杆自

产品描述

参数

一、系统用途：
　　制备各种光学管。
二、技术指标：
1．可制作光学管(Φ110×(30mm～50mm)；阴极(Φ70～Φ80mm)；
2．真空系统极限真空度(空载)：(1-3)×10^-8Pa；
3．真空系统烘烤温度：400℃，程序控温，采用烘箱烘烤，电动双升降结构；
4．烘箱外管道烘烤温度：180℃(烘烤带烘烤，直接插入220V电源插座)；
5．两套样品交接：一套在钢封室，一维直线运动；一套在阴极室，传递杆自由度：X方向移动、Z方向360°旋转四维，各自由度必须满足样品交接，传递铟封和定位要求；

6. 铟封室右侧配有高压六芯电极引线，石英窗和铟封室加热电极引线法兰；

7. 所有窗口均采用石英玻璃封接而成。

三、系统组成：
　　真空抽气及真空测量系统、阴极制备室系统、阴极制备室内烘烤加热及控制系统、铟封室系统、铟封室内烘烤加热及控制系统、烘箱、烘箱烘烤加热及控制系统、台架系统、电控系统、电动双升降系统、样品传递系统等组成。

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