YJ-Ⅲ 变像转移阴极及铟封制作系统
所属分类
阴极制备设备
产品描述
参数
一、系统用途：
制备近贴管和条纹管。
二、技术指标：
1. 可制作近贴管（Φ85×50）和条纹管（Φ85×380），不同时进行；
2. 真空系统极限真空度：6.7×10-8Pa；
3. 真空系统烘烤温度：400ºC，程序控温，采用烘箱烘烤，电动双升降结构；
4. 烘箱外管道烘烤温度：250ºC；（烘烤带烘烤，直接插入220V电源插座）
5. 两套样品交接：一套在阴极制备室，两维运动；一套在铟封室，传递杆自由度：X、Y、Z摆动，360º旋转四维，各自由度必须满足样品交接，传递铟封和定位要求；
6. 铟封室和制备室之间采用耐烘烤高温挡板阀连接；
7. 所有窗口均采用石英玻璃封接而成。
三、系统组成：
真空抽气系统、真空测量系统、阴极制备室系统、阴极制备室内烘烤加热及控制系统、台架系统、电控系统、电动双升降系统、样品传递系统等组成。
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YJ-Ⅰ 真空阴极转移系统
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