一、主要技术指标： 1、真空室极限真空优于2×10-7Pa（冷态，真空室内安装有阴极窗、碱金属及管壳），漏率优于1×10-8Pa•L/s。 2、真空机组选用分子泵作为主抽泵，一台隔膜泵作为分子泵的前级泵，一台多级罗茨干泵作为预抽泵。 3、真空室材料为不锈钢316L；主腔室为立式圆筒形结构；副腔室为卧式圆筒形结构，副腔室均布焊接于主腔室圆周方向； 真空腔室焊接后经过真空检漏确保不漏后，外表面喷砂钝化，内表面机械抛光，最后整体电解抛光处理。 4、系统配置一套矩形电动双升降结构的烘箱子系统，对烘箱内部真空室进行烘烤，最高烘烤温度为450℃；烘箱内顶部配置电动搅拌机，烘箱内部配置倒扣矩形漏斗形状温度导流筒，保证烘箱内部烘烤温度均匀性；烘箱控温采用品牌的控温表控温。 5、真空室上配置有两个测温点，一个在真空室内部，测量真空室上观察窗内部位置的温度，一个在真空室外部下底阴极制作组件法兰上，测量真空室阴极制作组件法兰位置的温度；测温采用测温表测温。