金刚石屏蔽制备沉积注入系统
所属分类
沉积注入设备
产品描述
参数
一、系统技术指标：
1、真空系统：
1.1、采用真空泵作为真空获得系统，由两级泵设计，分别为中科科仪1600L/s分子泵+ 18L/s北京优成机械泵；
1.2、真空腔的极限真空度要求优于1.0x10-4Pa；泄露小于6×10-7PaL/S；要求从大气到1.0x10-3Pa时间优于30分钟；
1.3、真空机组由甲方采购。
2、真空腔体：
2.1、主体：壁厚5mm，材质为1Cr18Ni9Ti不锈钢，外腔净尺寸Ф400mm*350mm；
2.2、腔体进行抛光处理和应力处理，保证3年内真空室主体无变形，无泄露；
2.3 要求真空室与地绝缘；
2.4、真空室内表面设置防污板。
3、弧源：
3.1、要求弧源与真空室绝缘；
3.2、弧源由甲方自备。
4、Mena源：
4.1、要求Mena源与真空室绝缘；
4.2、要求Mena源与真空室通过气动阀连接；
4.3、Mena源由甲方自备。
5、工件架：
5.1、一次镀4个样品，样品尺寸为：150mmX150mm厚度为1-2mm不等的矩形样品；
5.2、样品具有自转和公转功能，通过双芯磁流体进行传动和密封；样品自转和公转0～10 转/分钟, 定位转速0～3 转/分钟，转速可调，并且要求自转和公转电机都要具备刹车功能；
5.3、要求每个样品相当弧源和Mena源都有定位和转动功能。
5.4、要求样品架与地绝缘，耐压值≥1KV。
6、设计系统具有有断水报警，切断相应电源功能。
扫二维码用手机看
上一个
沉积注入系统
下一个
双180°沉积注入系统
总 机：024-23758583
传 真：024-89422961
总经理电话：13804984297/024-23758583-607
市 场 部（售后服务）：024-23758583-610 13840375510
地址：沈阳市苏家屯区大淑堡瑰香街83-5号
024-23758583
在线留言 