双180°沉积注入系统
所属分类
沉积注入设备
产品描述
参数
一、系统技术指标：
1、真空系统：
1.1、采用真空泵作为真空获得系统，由两级泵设计，分别为中科科仪3500/s分子泵+ TRP-90北京优成机械泵；
1.2、真空腔的极限真空度要求优于1.0x10-4Pa；泄露小于6.7×10-7PaL/S；要求从大气到1.0x10-3Pa时间优于30分钟；
1.3、真空机组由甲方采购。
2、真空腔体：
2.1、主体：壁厚6mm，材质为304不锈钢，内腔净尺寸Ф600X500mm圆柱水冷真空室；
2.2、腔体进行抛光处理和应力处理，保证3年内真空室主体无变形，无泄露；
2.3 要求真空室与地绝缘。
3、MEVVA源：
3.1、 要求MEVVA源与真空室绝缘；
3.2、 要求MEVVA源与真空室通过气动阀连接；
3.3、MEVVA源由甲方自备。
4、脉冲磁过滤等离子源：
4.1、要求脉冲磁过滤等离子源与真空室绝缘；
4.2、脉冲磁过滤等离子源由甲方自备。
5、工件架：
5.1、共三套样品架；分别为柱状样品架、盘状样品架和球状样品架；
5.2、样品架每次可安装8个样品，样品与样品之间的距离80mm，离源口最近的样品与源口的距离为100mm；
5.3、样品具有自转和公转功能，并且带有刹车装置，通过双芯磁流体进行传动和密封；
5.4、要求每个样品相MEVVA源和脉冲磁过滤等离子源都有定位和转动功能；
5.5、要求样品架与地绝缘，耐压值≥1KV。
6、设计系统具有有断水报警，切断相应电源功能；
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MEVVA沉积注入复合机
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