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1016
204-1

弯铁白光狭缝

1.系统总漏率:小于1×10-8Pal/s;2.狭缝开口尺寸:水平方向:0-70mm;垂直方向:0-10mm;3.刀口运动行程:水平方向:-5-37mm;垂直方向:-5-7mm;4.上下刀口平行度:100um;最大吸收热功率:200w。
1016
204-1
产品描述
参数
1. 系统总漏率:小于1×10-8Pal/s;
2. 狭缝开口尺寸:水平方向:0-70mm;
垂直方向:0-10mm;
3. 刀口运动行程:水平方向:-5-37mm;
垂直方向:-5-7mm;
4. 上下刀口平行度:100um;
最大吸收热功率:200w。
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