镜箱系统
一、技术指标:
1.水管焊接部件:
1.1.采用真空钎焊,焊缝要求均匀;
1.2.焊接处漏率<5×10-10Torr.L/S;共有CF16法兰两个。
2.波纹管焊接部件:
2.1.采用氩弧焊,焊缝要求均匀;
2.2.焊接处漏率<5×10-10Torr.L/S;共有CF16法兰1个,CF16松套法兰1个。
3.冷却波纹管组件:
3.1.连接处漏率<0.2×10-10Torr.L/s,真空度<1×10-10Torr;共有CF16法兰1个,CF16松套法兰1个。
4.镜箱:
4.1.箱体:尺寸:1391(L)×653(W)×357(H)毫米(约),全金属密封不锈钢结构,下底采用铝丝密封,其余全部采用无氧铜圈密封。共有:CF63法兰接口六个(接观察窗)、CF35法兰接口六个。外表面电解抛光处理。
4.2.镜箱底板:与箱体铝丝密封,不锈钢结构,底板焊有五个CF35法兰接口,两个CF150法兰接口。外表面电解抛光处理。
4.3.陶封法兰CF35:采用氩弧焊接,焊缝在真空侧,真空外侧可进行断续加固焊;M3丝杆长短错开焊接;整体漏率<1×10-10Torr.L/S。
4.4.CF35连接管焊接组件:内表面处于真空中,焊口必须内焊;漏率<1×10-10Torr.L/S。
5.电缆波纹管焊接组件:
5.1.此件外侧为超高真空,内侧为大气;
5.2.漏率<1×10-10Torr.L/S。
6. 镜箱支撑组件:
6.1.氩弧焊连续焊接;
6.2.焊后时效;
6.3.经时效后加工后满足图纸要求。
7.电缆波纹管焊接组件:
7.1.此件外侧为超高真空,内侧为大气;
7.2.漏率<0.2×10-10Torr.L/S。
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