排气铟封台
所属分类
真空排气台设备
产品描述
参数
1、技术要求：
1.1、可实现阴极尺寸:Φ70mm，探测器尺寸：Φ100mm 制作工艺；
1.2、阴极制备室和铟封室内径尺寸不小于Φ150×300mm；
1.3、铟封室内带有加热烘烤装置，碘钨灯烘烤，一个烘烤电源，烘烤温度最高250℃， 程序控温。
2、真空机排气系统
2.1、系统工作真空度为5×10-7Pa(30小时内达到正常工作真空度)，空载极限真空度5×10-8Pa，系统总漏率≤10-8 PaL/s，要求真空系统至少连续工作两周无故障；
2.2、采用进口真空测量系统，量程为1×105Pa～1×10-8Pa，自动换挡，并有真空突然降低保护功能；
2.3、全无油系统，采用进口干泵、国产风冷分子泵、进口离子泵三级系统。
3、烘烤加热及控制系统：
3.1、采用烘箱外烘烤结构对阴极制备室和铟封室进行烘烤，矩形结构，台架上面有隔热板，烘箱采用两半式手动开合结构，烘箱最高烘烤温度400℃，可连续烘烤时间48小时；
3.2、烘箱要求温度均匀，保温性能良好，可实现10段以上编程自动温控，以及手动设置；
3.3、加热控制系统具有超温报警功能；温度超过某设定值时，烘箱自动断电，并须手动干预才可恢复，确保加热设备安全；
3.4、烘箱满足在高度小于2.2m的条件下正常使用，具有断电自锁功能，确保操作人员安全；
3.5、真空机组与烘箱具有安全连锁保护功能，设置手动、自动两档，在自动模式下，如果真空度过低（比如1×10-4Pa），离子泵、烘箱自动切断电源进入保护状态，手动干预才可恢复；
3.6、阴极室和铟封室应具有独立的测温元件，测温精度±2℃；
3.7、铟封室应具有烘烤灯加热功能，且其加热控制系统需具有超温报警功能，其加热系统与真空机组具有如上的安全连锁保护功能。
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