PQ –Ⅰ 玻璃泡充铷真空系统
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产品描述
参数
一、技术指标：
1. 极限真空度：≤3×10-6Pa；真空漏率：≤1×10-7PaL/S；
2. 系统配备能够经受长时间（48小时以上）高温烘烤（玻璃段温度达450℃，采用烘箱烘烤；金属段200℃，采用烘烤带烘烤）的温控和加热系统；
3. 真空除气温度：室温～200℃；
4. 为了混气和充气方便和精确：混气罐（容积2L）和真空室（容积为5L），配置高精度电容薄膜规，量程分别为1～1000Torr和0.1～100Torr，混气和充气均通过微调阀手动控制；
5. 烘箱采用矩形结构，内部有效尺寸：780mm（长）×450mm（宽）×600mm（高），内部采用电阻加热方式，加热总功率6Kw；
6. 所有加热部分采用PID程序控制；控温精度±1℃；
二、系统组成：
本系统主要由真空烘烤系统、真空抽气系统、真空及压力测量系统、充配气系统、超高真空容器及相关部件系统、冷水机系统、台架系统、电控及计算机控制系统组成。
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