产品描述
参数
1、真空抽气及测量系统
1.1、系统极限真空度优于 5.0X10-5Pa，系统漏率优于 1.0x10-7Pa·L/s。
1.2、设备充入干燥氮气至一个大气压,泵组开始抽真空,在90分钟内，抽到1.0x10 -3Pa.
1.3、抽气机组:采用两套分子泵、一套罗茨泵、一套前级直连泵、一套维持泵两套气动高阀及一套旁抽阀门、管道、真空计等组成抽气系统。
1.4、分子泵与机械泵之间安装吸附阱，防止机械泵返油污染腔体内部样品。
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磁控溅射镀膜改造
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