产品描述
参数
技术指标要求
项目配置：针对特定尺寸金属棒工件(直径φ3mm-φ5mm，长度150mm)，区域熔炼提纯炉应设计为竖式结构，铍棒工件通过夹具固定在石英管中间，且石英管外应有风冷系统；乙方应完成的设备主体和备件包括电源、夹具、真空计、石英管、质量流量计、控制电源、真空管路、截止阀、红外测温仪等。
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高真空固态相变单晶生长炉系统
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